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Scan 100 x 100
Verfahrensbereich: 102x102 mm
Gewicht: 3800 g
Wiederholgenauigkeit:
< 1 µm
< 0.5 µm, mit Linear-Encoder
Genauigkeit:
+/- 3 µm
+/- 1.5 µm, mit Linear-Encoder
Auflösung: 0.0015 µm
Max. Verfahrgeschwindigkeit:
45 mm/s mit 1mm Spindel
90 mm/s, mit 2mm Spindel
180 mm/s, mit 4mm Spindel
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Preis auf Anfrage
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(c) Optische Systeme Jülich GmbH, Bonn
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