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EK 150 x 150
Verfahrensbereich: 153x153 mm
Gewicht: 3000 g
Belastbarkeit: 5 kg
Manueller Kreuztisch mit Verfahrbereich 153 x 153 mm. Zusätzlich zur genauen Feinpositionierung ist der Tisch auch mit einer patentierten Schnellverstellung versehen, sodaß sowohl schnelles Verschieben als auch eine genaue Positionierung möglich sind.
Es stehen drehbare Waferhalter 5"+6", sowie Vakuumwaferhalter zur Verfügung.
Die maximale Belastung beträgt 5 KG
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Preis auf Anfrage
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(c) Optische Systeme Jülich GmbH, Bonn
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