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Kombination eines Mikroskopes mit einem großen Messtisch

Unser Kunde stellte folgende Aufgabe:

Benötigt wird ein Auflichtmikroskop mit einer Auflösung von 1µm. Der Scantisch sollte eine Fläche von 200 x 200 mm verfahren können, bei einer Auflösung ebenfalls im µ-Bereich.
Es sollte einerseits möglich sein, die Positionsdaten des Scantisches mit Hilfe des Anzeige- und Positionierungsystem QuadraCheck direkt auf dessen Display auszugeben. Andererseits wurden die Daten auch zu Dokumentations- und Meßzwecken im Rechner benötigt.

Wir haben diese Aufgabe wie folgt gelöst.

Lösung

Auf Basis eines Mikroskopes mit Auf- und Durchlichtbeleuchtung wurde der Ausleger umbebaut und verlängert, um genügend freien Weg für den großen Scantisch zu schaffen.

Der Scantisch wurde um das Mikroskop herumgebaut.

Die Durchlichtbeleuchtung des Mikroskopes wurde übernommen und in den Scantisch eingebaut. Die Regelung erfolgt nach wie vor durch das eingebaute Potentiometer im Mikroskopstativ.

Der Scantisch wurde elektronisch so modifiziert, daß er mit dem QuadraCheck System kommunizieren kann.

Die Kommunikation des QuadraCheck mit der Meßsoftware wurde ebenfalls angepaßt.

Zur Dokumentaion wurde eine CCD-Videokamera mit einem Framegrabber verbunden und ebenfalls durch die Meßsoftware ausgelesen.

Das Mikroskop wurde kalibiert an den Kunden ausgeliefert und wird seitdem eingesetzt.


© Optische und elektronische Geräte Jülich GmbH,  Bonn